雜散光是所有光學儀器系統中固有的一種有害的非檢測光，對分析儀器的測量精度影響很大。對于光譜分析儀器系統而言，雜散光的影響更加不可忽略。在光譜分析中，雜散光是形成系統背景光譜的主要原因，若背景光譜較強，則可能影響到微弱光信號的檢測，大大地降低系統的信噪比，同時會直接影響測量信號的準確度及單色性。

目前市場上大多數光譜分析儀器制造商所提供的快速CCD光譜分析分光都采用平面光柵與多塊聚光鏡的組合，會產生極大的雜散光，對測量結果影響很大。新一代CMS-3S快速光譜分析儀器，采用世界先進的全息凹面衍射光柵和東芝高性能的線性CCD陳列探測器。優化了高性能CCD與全息凹面平場衍射光柵的匹配設計，通過求解關于不同像差項的非線性方程組來達到消除具體像差、補償像面的目的，只需一個光學元件，很好的解決了大多數廠家對快速光譜儀測試過程中產生極大雜散光，使光學匹配更完美，系統所獲得的光譜更純，線性更好。

雜散光的控制遠遠達不到用全息凹面平場衍射光柵只需一個光學元件的超低效果。除了低雜散光，采用全息凹面平場衍射光柵對提高其熱穩定性也有很好的幫助。在很寬的溫度范圍內測量結果幾乎沒有波長漂移,并且光譜譜峰有良好的保持效果。

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